Zlecenie 7166246 - Opracowanie i demonstracja w warunkach laboratoryjnych...

mowego w próżni wraz z układem zasilania i sterowania.

Przedmiotem zamówienia jest wykonanie usługi badawczej polegającej na opracowaniu i demonstracji w warunkach laboratoryjnych manualnie obrotowej głowicy do napylania magnetronowego i oczyszczania plazmowego w próżni wraz z układem zasilania i sterowania.
Wynikiem usługi badawczej ma być opracowanie techniczne. Cel zamówienia Celem zamówienia jest zakup od jednostki naukowej usługi polegającej opracowaniu nowego wyrobu w postaci innowacyjnej dualnej głowicy do oczyszczania plazmowego i napylania magnetronowego próbek laboratoryjnych. Przedmiot zamówienia Przedmiotem zamówienia jest realizacja przez Wykonawcę usługi badawczej polegającej na opracowaniu innowacyjnej zintegrowanej głowicy do oczyszczania plazmowego i napylania magnetronowego.

Wynikiem usługi badawczej jest dostarczenie szczegółowego opracowania technicznego zawierającego:
a) dokumentację konstrukcyjną,
b) uzasadnienie wyboru parametrów kluczowych części i podzespołów,
c) wykaz części i podzespołów ze wskazaniem ich dostawcy,
d) kompletną dokumentację elektryczną i elektroniczną,
e) wytworzone oprogramowanie w formie kodu źródłowego,
f) raport z testów i badań głowicy w warunkach laboratoryjnych.

Szczegóły zamówienia

Podstawowe założenia techniczne dla głowicy:

a) głowica zapewniająca podwójną funkcjonalność:
- funkcja pierwsza: oczyszczanie plazmowe DC (potencjałem dodatnim lub ujemnym) próbek w atmosferze gazów technicznych oraz oparach cieczy,
- funkcja druga: napylanie magnetronowe DC próbek; przy zastosowaniu standardowych tarcz magnetronowych o średnicy 57mm; wbudowana automatyczna przesłona tarczy zapewniająca ochronę próbki na czas odgazowania tarczy,
b) głowica umieszczona powinna być na ramieniu, którego uniesienie (wraz z głowicą) powinno pozwolić jej manualny obrót, tym samym wybór funkcji (napylanie lub oczyszczanie); przewód zasilania głowicy może być odłączony podczas obracania,
c) głowica powinna pasować do komory procesu o średnicy 6’’ z uszczelnieniem gumowym,
d) próbki testowe mają średnicę 30 mm i grubość 2 mm.

Podstawowe założenia techniczne dla układu zasilania i sterowania:

a) układ zasilania powinien zapewnić optymalne i stabilne parametry procesu oczyszczania i napylania,
b) przewód zasilający powinien być w prosty i szybki sposób odłączany od głowicy,
c) układ sterowania powinien posiadać cyfrowy interfejs RS232, umożliwiający nastawę parametrów procesu oraz odczyt aktualnych parametrów procesu,
d) układ sterowania powinien zapewnić obsługę sensorów (kryształów oscylacyjnych) do pomiaru grubości warstwy napylanej o częstotliwości pracy w zakresie 2-10MHz, wyjście RS232,
e) układ zasilania i sterowania powinien spełniać wymogi EMC.